Shanghai Jiaozhen SEMI
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X/Z direction travel mechanism

Description：

  • Customizable Z-direction travel mechanism for semiconductor robots with high-travel EQ devices.
  • Customizable X-direction travel mechanism for semiconductor robots up to 12Port EFEM/Sorter devices.
  • Conforms to SEMI international standards.
  • Adopts YASKAWA's integrated drive and control technology
  • Fully sealed structure, ISO class 1.
  • High precision, high speed, dust-proof

© 2023 Shanghai Jiaozhen

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